m340 气体质量流量传感器是采用微机电系统(mems)流量传感芯片制作，适用于各种用途的清洁、相对干燥性气体流量测量和过程控制，独特的封装技术使得产品满足不同范围的流量测量，确保高灵敏度，高可靠性，高稳定性和低成本。 fm340 是基于mems流量传感单元和高精度数字处理和标定电路（mcu）组成.集成的δ-σa/d转换器和具有内部校准功能的逻辑电路及mcu处理器共同保证了传感信号实时有效采集，获得精确的流量信号，并在内部进行相应的补偿算法处理，因此无需再做任何外部校准补偿，就能确保高精度的流量输出；友好的数字化输出通讯形式，用户可以很方便的得到进行通信得到相应数据信息；产品应用范围十分广阔。-精度高（1.5％f.s精度）-线性输出